ภาวนา แปลว่า การเจริญ หมายถึง การเจริญกรรมฐานหรือการฝึกสมาธิขั้นต่าง ๆ แบ่งตามระดับความละเอียดประณีต เป็น 3 ระดับ คือ
1. ปริกัมมภาวนา
ปริกัมมภาวนา หรือ บริกรรมภาวนา ภาวนาขั้นบริกรรม การภาวนาขั้นตระเตรียม ภาวนาด้วยการบริกรรม ได้แก่ การถือเอานิมิตในสิ่งที่กำหนดเป็นอารมณ์กรรมฐาน เช่น เพ่งดวงกสิณ หรือกำหนดเอาลมหายใจที่กระทบปลายจมูกมาบริกรรมในใจ กล่าวคือการกำหนดบริกรรมนิมิตนั่นเอง นิมิตที่กำหนดนั้นก็จะปรากฏชัดในใจกลายเป็นอุคคหนิมิต จิตเป็นสมาธิขั้นต้นที่เรียกว่า ขณิกสมาธิ
2. อุปจารภาวนา
อุปจารภาวนา ภาวนาขั้นจวนเจียน หมายถึง การเจริญสมาธิขั้นเป็นอุปจารที่มีความละเอียดลึกกว่าขั้นปริกัมมภาวนา เกิดจากการเจริญสมาธิด้วยการบริกรรมจนเกิดเป็นอุคคหนิมิต จิตเป็นสมาธิแล้วก็กำหนดอุคคหนิมิตนั้นต่อไปจนกระทั่งแน่วแน่แนบสนิทในใจ เกิดเป็นปฏิภาคนิมิตขึ้น จากนั้นจิตจะตั้งมั่นเป็นอุปจารสมาธิ
3. อัปปนาภาวนา
อัปปนาภาวนา ภาวนาขั้นแน่วแน่ หมายถึง การเจริญสมาธิขั้นอัปปนา เป็นการเจริญสมาธิขั้นสูงสุด เกิดจากการกำหนดอุคคหนิมิต จนกระทั่งแน่วแน่แนบสนิทในใจ เกิดเป็นปฏิภาคนิมิตขึ้น แล้วเสพปฏิภาคนิมิตที่เกิดขึ้นแล้วนั้นสม่ำเสมอด้วยอุปจารสมาธิ จนบรรลุปฐมฌาน คือถัดจากโคตรภูขณะในฌานชวนะเป็นต้นไป ต่อแต่นั้นเป็นอัปปนาภาวนา